Ka波段分布式MEMS移相器低驱动电平容性开关的机电设计

• 作者: 吴群 宋明歆 殷景华 贺训军 金博识
• 来源期刊: 电子器件
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS移相器 电容开关 低驱动电压 机电特性 射频特性
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 页码范围: 1835-1838
• 页数: 4页
• 分类号: TN304
• 字数: 2527字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1005-9490.2007.05.078

摘要

为降低Ka波段分布式MEMS移相器容性开关的驱动电压,提出不同形状新型低弹性系数铰链梁结构MEMS电容开关的机电设计概念.采用IntelliSuiteTM和ADS软件分析了三种梁结构MEMS电容开关的位移分布、驱动电压、机械振动模式和射频性能等参数,结果表明:所设计新型beam2结构MEMS电容开关具有优越的机电特性和射频特性,即开关的驱动电压为3 V,机械振动模式固有频率都大于31 kHz,在35 GHz处插入损耗和回波损耗分别为0.082 dB和18.6 dB,而相移量可达到105.9o.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	殷景华	哈尔滨理工大学应用科学学院	74	301	9.0	12.0
2	宋明歆	哈尔滨理工大学应用科学学院	19	51	4.0	6.0
3	吴群	哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院	77	471	10.0	16.0
4	金博识	哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院	7	43	4.0	6.0
5	贺训军	哈尔滨工业大学电子与信息技术研究院	16	40	4.0	5.0