用直流磁控溅射法研制非晶硅太阳电池ZnO/Al背反射电极

• 作者: 任慧志 刘云周 周祯华 孙建 张德坤 段苓伟 耿新华 薛俊明 赵颖
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 非晶硅电池 ZnO/AI复合背电极 背反射 短路电流 转换效率
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 页码范围: 1283-1287
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 2093字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.06.017

摘要

本文首先在低温(140℃)和低功率下采用Zn:Al合金靶直流反应磁控溅射法研制ZnO:A1透明导电膜.然后在单结(glass/SnO2/pin/)或双结(glass/SnO2/pin/pin/)非晶硅电池上沉积约70～lOOnm厚的ZnO透明导电膜,最后再用电阻蒸发法沉积Al电极.实验获得了较好的n+/ZnO界面,实现了ZnO/Al背电极的增反作用,使电池的短路电流增加1～3mA/cm2,光电转化效率提高1～3%(绝对效率),小面积电池效率达到9.5%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	薛俊明	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	26	157	7.0	11.0
2	耿新华	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	62	364	13.0	17.0
3	赵颖	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	105	1195	16.0	33.0
4	孙建		1	16	1.0	1.0
5	任慧志		1	16	1.0	1.0
6	刘云周	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	1	16	1.0	1.0
7	段苓伟		1	16	1.0	1.0
8	周祯华		1	16	1.0	1.0
9	张德坤	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	13	40	4.0	6.0