TFT-LCD生产中毛刷清洗工艺的研究

• 作者: 于凯 刘锋 李斗熙 李正蘍 李相津
• 来源期刊: 现代显示
• 学科: 工学
• 关键词: TFT-LCD 清洗 毛刷 Particle去除率
• 年，卷（期）: 2007,（10）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 54-56
• 页数: 3页
• 分类号: TN949.192
• 字数: 1240字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-6268.2007.10.012

摘要

以玻璃基板表面残留的各种微粒(Particles)的去除率为依据,研究TFT-LCD生产清洗工艺中毛刷的旋转方向、旋转速度和毛刷相对玻璃的压入量等因素对玻璃基板表面particles清洗效果的影响,探讨这些因素的作用机理,为TFT-LCD生产以提供最佳的清洗工艺方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李斗熙		5	18	2.0	4.0
2	于凯		2	8	2.0	2.0
3	刘锋		1	6	1.0	1.0
4	李相津		1	6	1.0	1.0
5	李正蘍		1	6	1.0	1.0