WO3/Si-NPA复合薄膜的电容湿度传感性能研究

• 作者: 冯春岳 李新建 肖龙 董永芬
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 硅纳米孔柱阵列 WO3 WO3/Si-NPA 电容式湿敏元件
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 57-60,64
• 页数: 5页
• 分类号: TP212
• 字数: 2931字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.11.019

摘要

制备了基于硅纳米孔柱阵列(Si-NPA)的WO3/Si-NPA复合薄膜,并对其表面形貌进行了表征,研究了其电容湿度传感性能和基点电容的温度漂移.研究表明:WO3/Si-NPA继承了衬底Si-NPA规则的阵列结构的表面形貌特征,WO3的沉积形成了连续的WO3薄膜,WO3/Si-NPA是一种典型的纳米复合薄膜.室温下,WO3/Si-NPA的电容值随测试频率的增加而单调减小,但其灵敏度则在100 Hz时达到最大值.在此测试频率下,当环境的相对湿度从11% RH增加到95%RH时,元件的电容增量高达16 000%,显示WO3/Si-NPA对环境湿度有较高的灵敏度.同时,电容的湿度响应曲线显示出很好的线性.对其基点电容的温度稳定性研究表明:WO3/Si-NPA用作湿度传感的最佳工作温度区为15～50 ℃.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖龙	河南职业技术学院机械电子工程系	13	30	3.0	5.0