侧墙倾斜的水平半导体/空气分布布喇格反射器的设计

• 作者: 王海龙 秦文华
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 时域有限差分 分布布喇格反射器 反射率 倾斜 干涉
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 225-230
• 页数: 6页
• 分类号: O472.3
• 字数: 3260字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2007.02.016

摘要

时域有限差分(FDTD)法计算表明,在常规的水平半导体/空气分布布喇格反射器(DBR)设计中为了得到高反射率,DBR中侧墙与衬底垂直非常重要.对于GaN基材料DBR侧墙如果有3°的倾斜,反射率将下降到30%左右,然而在实验上很难得到侧墙与衬底垂直的GaN基DBR结构.考虑到侧墙倾斜问题我们提出了新的DBR设计方法,采用这种方法即使DBR侧墙有较大的倾斜也可以得到高的反射率.设计的关键是在侧墙倾斜的情况下保持每个DBR周期光程差与垂直情况下一致,根据光的干涉原理我们给出了详细的解释.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	秦文华	曲阜师范大学物理工程学院	31	129	7.0	10.0
2	王海龙	曲阜师范大学物理工程学院	35	123	6.0	9.0