直流磁控溅射有机衬底和玻璃衬底ZnO∶Al薄膜结构及特性的研究

• 作者: 卢景霄 王子建 王海燕 郜小勇 马康
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 有机衬底 氧分比 ZnO∶Al 晶化
• 年，卷（期）: 2007,（6）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 57-60
• 页数: 4页
• 分类号: O484.4+2
• 字数: 2458字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.06.014

摘要

利用直流磁控溅射法在有机薄膜衬底和普通玻璃衬底上制备出了具有良好附着性的ZnO∶Al透明导电膜,对制备薄膜的结构和光学特性进行了比较研究.研究发现:铝掺杂的氧化锌薄膜是多晶膜,具有六角纤锌矿结构;在衬底温度为100℃,溅射压强1.0 Pa,氧氩比为1∶2.58时,ZnO∶Al薄膜具有(002)择优取向,晶化也比较好,在可见光区的平均透过率分别达到了77.6%和82%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郜小勇	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	52	301	10.0	14.0
2	王海燕	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	62	372	11.0	16.0
3	卢景霄	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	100	570	12.0	17.0
4	马康	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	3	31	3.0	3.0
5	王子建	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	2	6	2.0	2.0