压力传感器封装中波纹膜片的结构优化

• 作者: 付兴铭 刘胜 姚媛 谭六喜
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 波纹膜片 封装 有限元分析
• 年，卷（期）: 2007,（7）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 80-81,84
• 页数: 3页
• 分类号: TP212
• 字数: 1053字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.07.027

摘要

对压力传感器隔离封装中的关键部件--波纹膜片,采用有限元分析的方法,分别得到了2,4,6个波纹的膜片的弹性特性,并根据封装要求选择了6波纹的膜片.通过比较不同波数的膜片对压力传感器输出信号的影响,验证了膜片结构优化的正确性.最后,使用6波纹的膜片进行封装,得到了性能稳定的压力传感器,并测试得到了其主要的静态参数.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘胜		75	815	15.0	25.0
5	谭六喜		3	24	2.0	3.0
7	姚媛		4	13	2.0	3.0
10	付兴铭		1	9	1.0	1.0