图形反转工艺制作OLED器件的阴极分离器

• 作者: 于军胜 成建波 杨刚 林慧 王军 蒋亚东
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 有机发光二极管 阴极分离器 图形反转 光刻 倒梯形
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 198-202
• 页数: 5页
• 分类号: TN383.1|TN873.3
• 字数: 2778字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:1000-7032.2007.02.011

摘要

应用AZ5214光刻胶的反转特性,在玻璃基板上制作OLED器件的阴极分离器.指出影响倒梯形形状的主要因素为涂胶厚度、曝光量和反转烘烤.SEM测试表明分离器的断面呈倒梯形,倾角约为45°,胶厚3 μm.得到了优化的制备分离器工艺参数:匀胶转速1 200 r/min,烘烤温度100℃,时间90 s,曝光时间0.8 s,反转烘温度125℃,时间45 s,泛曝光时间5.5 s,显影时间40 s.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	蒋亚东	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	318	2024	18.0	25.0
2	王军	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	115	936	14.0	26.0
3	杨刚	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	34	253	10.0	14.0
4	于军胜	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	72	436	10.0	15.0
5	林慧	电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室	23	128	7.0	10.0