一种MEMS薄膜材料的力学性能测试方法

• 作者: 丁桂甫 佐藤一雄 安藤妙子 式田光宏 李雪萍
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 力学性能 薄膜 拉伸试验
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 计算与测试
• 页码范围: 85-87,91
• 页数: 4页
• 分类号: TG115.5
• 字数: 2688字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.02.029

摘要

介绍了一种用于MEMS薄膜材料力学特性测试的单轴拉伸试验方法.其特点是微小试件两端固定,且与加载机构集成在基片上,从而可减少操作工作量,提高对准精度.整个机构以微细加工方法制成,硅类试件以干法蚀刻成型,金属类试件以电镀方法成型,其余加载机构以湿法刻蚀制成.试验表明:使用此机构可以简单且高精度地对薄膜试件进行拉伸试验,获得多项力学性能参数,从而为MEMS器件设计和分析提供可靠的理论基础.