压力传感器引线键合金线的振动疲劳研究

• 作者: 付兴铭 姚媛 肖沛红 谭六喜
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 压力传感器 引线键合 疲劳 有限元分析
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究动态
• 页码范围: 10-12
• 页数: 3页
• 分类号: TP202+.1
• 字数: 1860字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2007.03.002

摘要

本文对一种汽车用MEMS压力传感器中的键合金线,在加速振动试验时的疲劳情况进行了研究.首先简单介绍了MEMS压力敏感芯片引线键合以及引线的基本情况,然后利用有限元方法对引线在20g的加速振动下的疲劳和寿命进行了分析,并利用了概率上的冗余理论对键合工艺提出了改进,最后给出了实际的结果,证实了模拟和改进工艺的合理性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	姚媛		4	13	2.0	3.0
2	肖沛红	东风襄樊仪表系统有限公司研发部	1	1	1.0	1.0
3	付兴铭		1	1	1.0	1.0
4	谭六喜		1	1	1.0	1.0