基于频闪法的MEMS动静态测试系统

• 作者: 万淼 何开华 向东 吴娟 王青玲
• 来源期刊: 光电工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 特性测试 频闪成像 相对延时
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 27-31,36
• 页数: 6页
• 分类号: TN247
• 字数: 2564字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-501X.2007.02.006

摘要

为了对MEMS器件的3D形貌、垂向位移与形变、共振频率等特性进行精确的非接触式的测量,研制了一种基于激光频闪法的MEMS动静态测试系统.该系统以改进了的泰曼干涉仪为核心,采用激光照明,结合五步相移算法,获得MEMS器件静态表面的3D形貌图.使激光频闪的频率与MEMS器件驱动信号源频率一致可以获得相对"冻结"不变的3D形貌.改变频闪激光相对于MEMS器件驱动信号源的相对相位延时,可以获得周期内的MEMS器件离面运动轨迹等参数.本文设计并实现了与该系统配套的数据处理软件.该系统对于离面运动的测量精度可达1nm,最高测试频率可达500kHz.通过对可变形反射镜的测试验证了该系统的可靠性与通用性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	向东	中国地质大学数学与物理学院	39	247	10.0	13.0
5	王青玲	中国地质大学地球物理与空间信息学院	12	74	5.0	8.0
6	何开华	中国地质大学数学与物理学院	18	131	6.0	11.0
7	吴娟	中国地质大学数学与物理学院	10	43	4.0	6.0
8	万淼	中国地质大学数学与物理学院	5	35	4.0	5.0