电子束辐照PET薄膜制备有序多孔阵列高分子模板

• 作者: 吴新锋 周瑞敏 周菲 费舜廷 邓邦俊 郝旭峰
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 化学
• 关键词: 模板 PET 掩膜 电子束蚀刻 腐蚀
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 低能加速器技术、射线技术及应用
• 页码范围: 952-955
• 页数: 4页
• 分类号: O633.14|O571.33|Q691.2
• 字数: 2931字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2007.11.016

摘要

本文用掩膜工艺电子束蚀刻技术产生具有潜影的聚酯(PET)薄膜,经强氧化液(浓硫酸与重铬酸钾的混合液)腐蚀,产生有序微米多孔阵列PET模板.讨论了辐照剂量、腐蚀时间以及腐蚀温度等因素对基膜蚀刻和腐蚀的影响.结果表明:随着辐照剂量、腐蚀温度和腐蚀时间的增加,PET基膜更易被腐蚀.IR、DSC测量结果表明:辐照导致化学键的断裂、非晶化转变,是导致辐照PET薄膜的腐蚀失重率增加的原因.用此方法制备了孔径大小一致的微米级有序多孔阵列PET模板.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	周瑞敏	上海大学射线应用研究所	22	110	6.0	9.0
2	郝旭峰	上海大学射线应用研究所	3	13	2.0	3.0
3	吴新锋	上海大学射线应用研究所	3	5	1.0	2.0
4	周菲	上海大学射线应用研究所	4	13	2.0	3.0
5	邓邦俊	上海大学射线应用研究所	3	7	2.0	2.0
6	费舜廷	上海大学射线应用研究所	3	7	2.0	2.0