钛酸锶钡铁电薄膜的制备与性能优化研究

• 作者: 余桉 张瑞婷 张继华 杨传仁 王波 陈宏伟
• 来源期刊: 绝缘材料
• 关键词: 钛酸锶钡(BST) 铁电薄膜 制备工艺 性能优化
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 研制与应用
• 页码范围: 24-28
• 页数: 5页
• 分类号: TM22
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1009-9239.2007.04.007

摘要

综述了目前钛酸锶钡(BST)铁电薄膜最为常用的4种制备工艺:磁控溅射法(Magnetron Sputtering)、脉冲激光沉积法(PLD)、溶胶-凝胶法(Sol-gel)、金属有机物化学气相沉积法(MOCVD).并介绍了在优化BST铁电薄膜性能方面所作的工作和取得的成果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨传仁	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	69	525	11.0	18.0
2	陈宏伟	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	51	360	10.0	15.0
3	张继华	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	47	193	8.0	9.0
4	张瑞婷	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	4	26	3.0	4.0
5	王波	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	15	83	6.0	8.0
6	余桉	电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室	3	17	2.0	3.0