ITO薄膜光电性能红外-可见光谱分析方法

• 作者: 余刚 刘静 王慧
• 来源期刊: 玻璃
• 学科: 工学
• 关键词: ITO薄膜 面电阻 载流子浓度 光谱中
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 研究与综述
• 页码范围: 6-8
• 页数: 3页
• 分类号: TQ171
• 字数: 2142字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-1987.2007.03.002

摘要

研究了射频磁控溅射制备ITO薄膜,利用四探针方法、分光光度计测试薄膜面电阻及红外-可见光光谱,利用光谱特征研究了不同工艺对薄膜面电阻、载流子浓度、折射率等光电性能的影响.研究表明,随温度的升高ITO薄膜面电阻减小,载流子浓度增加,折射率减小,透过率增加;随氧分压的增加面电阻增大,载流子浓度减小.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王慧		19	62	5.0	7.0
2	刘静		28	109	6.0	10.0
3	余刚		17	56	4.0	7.0