新型压电微喷的研制

• 作者: 崔大付 许立宁
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压电 微喷 切变振动 有限元分析
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 41-44,48
• 页数: 5页
• 分类号: TN722.7
• 字数: 2628字
• 语种: 中文

摘要

介绍了一种能够实现微量样品精确供给的压电微喷.该微喷利用压电陶瓷围成液体腔,通过厚度切变振动产生压力波,使液滴喷射.从理论推导、有限元模拟、实际测量三个方面研究了微喷的性能,三者得出的谐振基频基本吻合,从而验证了理论设计和有限元优化的正确性.该微喷工作稳定,施加一个驱动脉冲,只会产生一次喷射.当驱动电压为40 V时,最大喷射距离为3 cm,喷出液滴的体积小于1 nL.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	崔大付	中国科学院电子学研究所	77	974	17.0	27.0
2	许立宁	北京科技大学材料科学与工程学院	35	328	10.0	16.0