静电驱动可调微机械电容

• 作者: 付世 周勇 方东明 赵小林
• 来源期刊: 半导体学报
• 学科: 工学
• 关键词: 可调电容 射频微机电系统 品质因数
• 年，卷（期）: 2007,（9）
• 所属期刊栏目: 研究论文
• 页码范围: 1454-1458
• 页数: 5页
• 分类号: TM53
• 字数: 2938字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-4177.2007.09.025

摘要

利用简单MEMS技术制作了高品质因数的射频可调微机械电容.此电容由静电驱动,利用WYKO NT1100光学表面轮廓仪测量在不同外加直流电压下可变电容的表面轮廓和位移等信息.测试结果表明,电容的吸合电压为13.5V,电容可调比为1.31∶1,在1GHz下品质因数为51.6,电容值为0.79pF.