CMOS硅风速传感器热性能的分析

• 作者: 刘肃 郁红
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 二维风速传感器 恒温差模式 恒定功率模式 有限元分析
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 190-194
• 页数: 5页
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2789字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.04.007

摘要

给出了一种能同时测量风速和风向的基于CMOS工艺的二维硅风速传感器的工作原理、结构及其热学模型.针对恒温差和恒定功率两种控制方式,建立各自的一维传感器热学模型,并采用有限元分析工具ANSYS/FLOTRAN141分析和比较了不同控制条件下传感器的热性能及其和传感器特征尺寸的关系.最后,通过试验结果验证了模拟的正确性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘肃	兰州大学微电子研究所	68	261	9.0	11.0
2	郁红	兰州大学微电子研究所	1	2	1.0	1.0