氟化类金刚石(F-DLC)薄膜的红外分析

• 作者: 张德恒 徐慧 肖剑荣 马松山
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: F-DLC薄膜 化学键 傅里叶变换红外光谱 介电常数
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 技术交流
• 页码范围: 236-240
• 页数: 5页
• 分类号: TN304
• 字数: 3417字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.03.014

摘要

以CF4和CH4为源气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积法,在不同条件下制备了氟化类金刚石(F-DLC)薄膜,并进行了退火处理.红外分析表明,F-DLC薄膜中主要有C-Fx(x=1,2,3)、C-C、C-H2、C-H3和C=C化学键等.低功率下制备的薄膜主要由C-C、CF和CF2键构成,功率增加时,薄膜内C-C键含量相对增加;气体流量比R(R=CF4/[CF4+CH4])增大,薄膜内F的含量增加,C-C键相对减少;高温退火后,薄膜内部分F和几乎全部的H从膜内逸出,薄膜的稳定温度在300℃以上.低功率、高流量比下制备的薄膜,F含量相对较大,介电常数较低.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	肖剑荣	中南大学物理科学与技术学院	9	25	3.0	4.0
3	徐慧	中南大学物理科学与技术学院	100	517	10.0	17.0
4	马松山	中南大学物理科学与技术学院	33	105	6.0	7.0
5	张德恒	中南大学物理科学与技术学院	4	15	3.0	3.0