热驱动式RF MEMS开关设计

• 作者: 王志功 黄继伟
• 来源期刊: 东南大学学报（英文版）
• 学科: 工学
• 关键词: 射频微机电系统 热驱动器 横向接触 隔离
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 520-523
• 页数: 4页
• 分类号: TN402
• 字数: 827字
• 语种: 英文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-7985.2007.04.009

摘要

设计了一种工作在0～8 GHz频段的热驱动式RF MEMS开关.开关利用热驱动方式实现横向金属直接接触,因此具有较好的射频性能.开关的结构层由厚的电镀镍和氮化硅组成,由于氮化硅的绝缘作用,实现了射频信号与驱动信号的隔离,有助于进一步提高射频性能.分析了在较小变形量的情况下,突起角度与顶点位移量的关系.电镀的金壁作为接触金属降低了接触电阻.开关通过Metal-MUMPs工艺进行成功流片,测试结果显示,开关在8 GHz有小于0.9 dB的插入损耗和大于30 dB的隔离度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王志功	东南大学射频与光电集成电路研究所	342	2153	20.0	29.0
2	黄继伟	东南大学射频与光电集成电路研究所	10	27	3.0	4.0