VICTREX PEEK聚合物制造的CMP环使用寿命是PPS产品的2．5倍

• 来源期刊: 塑胶工业
• 学科: 工学
• 关键词: PEEK 聚合物 制造商 CMP 使用寿命 P环 PPS 耐磨损性能
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 页码范围: 53
• 页数: 1页
• 分类号: TQ326.5

摘要

目前．威格斯公司通过制造商（fabricator）的网络为世界各地包括欧洲、中国大陆、台湾、日本及韩国等地的许多晶圆制造厂供应VICTREX PEEK聚合物。Strasbaugh公司工程项目经理Bill Kalenian说：“我们多年来直采用VICTREX PEEK聚合物制造CMP保持环，客户对效果非常满意。VICTREX PEEK聚合物因其独特的性能，包括固有高纯度、强度、耐化学品性能及耐磨损性能，被公认为用于CMP环的最佳高性能热塑性材料之一。