Pyrex7740玻璃深刻蚀研究

• 作者: 刘文平 明安杰 李铁 王跃林
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: Pyrex7740玻璃 湿法刻蚀 MEMS
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 51-55
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.7
• 字数: 3130字
• 语种: 中文

摘要

研究了以TiW/Au为掩膜,在氢氟酸以及氢氟酸加硝酸溶液中Pyrex7740玻璃的湿法深刻蚀现象.实验发现,在氢氟酸中玻璃的刻蚀速率随溶液温度及浓度的升高而升高,室温下纵/横向侧蚀比最小.在氢氟酸中加入少量硝酸后可以提高其刻蚀速率,当硝酸含量为10%时,刻蚀速率可以提高两倍左右.利用上述结果,实现了用一层TiW/Au掩膜制作多种不同深度的玻璃坑槽结构,为玻璃上不同深度沟道制作提供了一种新的方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘文平		10	75	5.0	8.0
3	李铁		3	18	3.0	3.0
4	明安杰		7	63	4.0	7.0