CoFe/Cu多层膜巨磁阻效应的研究

• 作者: 冯洁 郑金平
• 来源期刊: 真空科学与技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 多层膜 巨磁阻 缓冲层 退火
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 学术论文
• 页码范围: 123-126
• 页数: 4页
• 分类号: TB79
• 字数: 2606字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7126.2007.02.009

摘要

采用直流磁控溅射制备了多层膜Ta/缓冲层/[Co95Fe5/Cu]×12/Co95Fe5/Ta.实验发现,多层膜的磁阻性能受到缓冲层材料、各子层厚度以及退火处理的影响.采用优化的多层膜结构:Ni65Fe15Co20缓冲层厚8 nm、CoFe层厚1.55 nm、Cu层厚2.4 nm,沉积态薄膜GMR值达到7.6%;而在外加磁场79.6×103 A/m下,250 ℃保温2 h退火处理后,多层膜的GMR值进一步提高到11.9%,磁滞从18.7×102 A/m降低到796 A/m.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯洁		2	12	1.0	2.0