固体密度基准研究

• 作者: 丁京安 杨丽峰 罗志勇 郭立功 顾英姿
• 来源期刊: 科学通报
• 学科: 化学
• 关键词: 阿伏加德罗常数 密度基准 五步算法 单晶硅球 相移法 标准具
• 年，卷（期）: 2007,（12）
• 所属期刊栏目: 论文
• 页码范围: 1382-1386
• 页数: 5页
• 分类号: O6
• 字数: 5441字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0023-074X.2007.12.004

摘要

固体密度基准的准确度主要取决于对单晶硅球直径的准确测量. 为了准确测量硅球直径, 针对传统五幅相移算法之不足, 提出了"改进型五幅算法", 在保持该算法高准确度特点的同时, 通过将技术上难以实现的步长"准确控制"(理论上要求绝对准确)转换成步长测量问题, 解决了该算法在精密测长中的技术难题; 在算法突破的基础上, 利用"压力扫描"原理设计出"腔长可变式"法-珀标准具, 建立了一套与国外同行相比技术原理新颖、提高潜力较大的相移法精密测长系统. 该测量系统对硅球直径的测量准确度优于3 nm; 单晶硅密度的测量不确定度达到1×10-7.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁京安		22	51	5.0	6.0
2	罗志勇		35	216	8.0	13.0
3	杨丽峰		23	98	6.0	9.0
4	郭立功		27	172	7.0	11.0
5	顾英姿		10	80	5.0	8.0