电阻蒸发铝薄膜结构及其对非晶硅太阳电池性能的影响

• 作者: 侯国付 孙建 张德坤 王锐 耿新华 薛俊明 赵颖
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 电阻蒸发 Al背电极 非晶硅太阳电池
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 152-156
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 字数: 1910字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.01.034

摘要

本文首先采用电阻蒸发法制备了不同厚度的Al薄膜,并选择了两个典型厚度的Al薄膜制备工艺来制备非晶硅太阳电池的Al背电极,研究了Al背电极厚度对电池性能的影响.结果表明,Al背电极的厚度由800nm减薄到70nm时,电池的Voc平均值由0.826V增加到0.829V,电池的Jsc平均值由11.747mA/cm2减小到11.318 mA/cm2,电池的FF平均值由0.701增加到0.728,而电池效率的平均值略有增加,由6.803%增加到6.833%.用扫描电镜(SEM)和X射线衍射(XRD)研究了玻璃衬底上蒸发的Al薄膜和非晶硅电池Al背电极表面形貌和微观结构的变化,分析了电池性能随Al背电极厚度变化的原因.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	耿新华	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	62	364	13.0	17.0
2	孙建	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	67	311	10.0	14.0
3	赵颖		16	56	4.0	7.0
4	薛俊明		4	39	3.0	4.0
5	王锐	南开大学光电子薄膜器件与技术研究所	4	21	3.0	4.0
6	侯国付		1	5	1.0	1.0
7	张德坤		2	11	2.0	2.0