光敏微晶玻璃微流控芯片材料制备

• 作者: 李艳琼 汪建华 王传新 王升高 王涛 程莉莉 赵修建
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光敏微晶玻璃 微流控芯片 溶胶凝胶法
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 39-42
• 页数: 4页
• 分类号: TN3
• 字数: 1998字
• 语种: 中文

摘要

以具有良好的光化学加工性能的光敏微晶玻璃作为芯片材料对于简化微流控芯片制备工艺、降低芯片制备成本具有重要意义.基于这一点,利用XRD和SEM技术,研究了不同制备方法、不同玻璃组分对玻璃光化学加工性能的影响.研究表明,以溶胶凝胶法制备的均质粉体作为原料,采用低温熔制手段能提高玻璃的光化学加工性能,合理的光敏剂和晶核剂含量(分别为0.005%和0.012%)有助于提高光化学加工表面的平整度.从研究结果来看,调节玻璃中光敏剂和晶核剂含量以进一步提高玻璃光化学加工表面质量是今后工作的努力方向.