有机/无机杂化SiO2/Si光波导薄膜的制备及表征

• 作者: 吴远大 李建光 王玥 王红杰 胡雄伟
• 来源期刊: 半导体光电
• 学科: 工学
• 关键词: 溶胶-凝胶 杂化 SiO2 光波导
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 材料、结构及工艺
• 页码范围: 525-527
• 页数: 3页
• 分类号: TN25
• 字数: 2102字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-5868.2007.04.019

摘要

采用有机/无机杂化溶胶-凝胶(sol-gel)法制备了SiO2光波导薄膜材料.采用甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷(MAPTMS)作为反应先躯体,四丙氧基锆(ZPO)作为调节折射率的材料,正丙醇(n-propyl alcohol)为溶剂,利用旋涂方法在Si基片上成膜,采取低温长时间、高温短时间的热处理方式,制备出无龟裂薄膜.分别采用棱镜耦合仪和原子力显微镜(AFM)研究了不同溶剂量和不同ZPO量情况下,薄膜的折射率、厚度以及表面形貌变化情况.研究结果表明:通过调节正丙醇的用量,可以实现薄膜厚度可控;通过调节ZPO的用量,可以实现薄膜折射率可控;薄膜的表面平整度非常好,在5μm× 5μm的扫描范围内,表面粗糙度小于0.430 nm,表面起伏度小于0.656 nm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王玥	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	79	544	8.0	22.0
2	吴远大	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	25	34	3.0	4.0
3	李建光	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	22	67	5.0	6.0
4	王红杰	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	32	93	6.0	7.0
5	胡雄伟	中国科学院半导体研究所光电子研究发展中心	41	134	6.0	9.0