石油勘探用MEMS加速度传感器噪声机理研究

• 作者: 吴浩 王俊杰 王跃林 车录锋
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: MEMS加速度传感器 检测电路 分辨力 噪声
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 41-44
• 页数: 4页
• 分类号: TN303
• 字数: 2905字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2007.01.014

摘要

针对石油勘探的应用需求,分析了MEMS加速度传感器及其检测电路的噪声源,并对不同电路结构的噪声进行了比较.根据分析结果,采取多种措施进行了改进,振动测试结果表明:传感器分辨力由原来的大于0.01 m/s2提高到0.001 m/s2,进一步提高了MEMS加速度传感器的性能.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王跃林		13	138	6.0	11.0
2	车录锋		7	62	5.0	7.0