碳剥离膜寿命的研究

• 作者: 卢子伟 张宏斌 张玲 徐瑚珊 房燕 李占奎 李龙才 王瑜玉 肖国青 赵永涛
• 来源期刊: 核技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 碳剥离膜 轰击寿命 交流/直流电弧法
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 所属期刊栏目: 低能加速器技术、射线技术及应用
• 页码范围: 50-52
• 页数: 3页
• 分类号: O57
• 字数: 1656字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3321/j.issn:0253-3219.2007.01.011

摘要

碳剥离膜用交流电弧法或者直流电弧法来制备,也可用交直流电弧来做多层膜.对不同制备方法和结构的碳剥离膜寿命进行了测量,所测膜的厚度为19μg/cm2.对影响膜寿命的一些因素进行了讨论,尤其是制备方法和碳膜结构.测量结果表明用直流电弧所做的碳膜寿命比交流电弧所做的长.