非晶GaAs1-xNx薄膜的形貌和光学性能

• 作者: 张瑞玲 王莹
• 来源期刊: 河南科学
• 关键词: 磁控溅射 GaAs1-xNx薄膜 AFM 光吸收谱
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 页码范围: 551-553
• 页数: 3页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-3918.2007.04.011

摘要

采用磁控溅射方法在硅片上,成功制备了不同氮偏压下的非晶GaAs1-xNx薄膜.结合AFM和光谱仪等手段对样品进行了表征,结果表明:随着氮气的引入,α-GaAs薄膜的球状颗粒转变为针状颗粒;并且随着氮偏压的升高,针状颗粒密度逐渐增大,薄膜表面的粗糙度逐渐减小;随着氮偏压的升高,a-GaAs1-xNx薄膜的光吸收边明显蓝移.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张瑞玲		19	15	2.0	2.0
2	王莹		14	6	1.0	2.0