纳米级长度扫描电镜测量的现状和展望

• 作者: 卢德生 张训彪 桂娟 邓保庆
• 来源期刊: 上海计量测试
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米 测量 标准器具 测量仪器 测量方法 扫描电镜
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 综述评论
• 页码范围: 2-9
• 页数: 8页
• 分类号: TH7
• 字数: 7654字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-2235.2007.02.001

摘要

本文首先根据计量法规,介绍有关"纳米测量"的基本概念,其中主要有:"纳米"、"测量"、"纳米长度"、"纳米标准器具"、"纳米测量仪器"、"纳米测量方法"等.然后介绍纳米级长度测量的概况.重点介绍纳米级长度扫描电镜测量技术的发展历程和现状.最后展望扫描电镜测量的发展趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	邓保庆		22	52	4.0	6.0
2	卢德生		6	134	5.0	6.0
3	张训彪		1	7	1.0	1.0
4	桂娟		1	7	1.0	1.0