光学读出非制冷红外成像的最新进展

• 作者: 张青川 焦斌斌 熊志铭 缪正宇 董凤良 陈大鹏
• 来源期刊: 实验力学
• 学科: 工学
• 关键词: 非制冷红外成像 光学读出 焦平面阵列 噪声等效温度差
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 页码范围: 401-406
• 页数: 6页
• 分类号: TB33|O31
• 字数: 3220字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4888.2007.03.027

摘要

针对以前红外成像中红外图像的噪声等效温度差(NETD)较大和空间分辨率不高的问题,本文在制作工艺改善的基础上,设计了一个单元尺寸分别是50μm×50μm 和60μm×60μm的红外焦平面阵列(FPA),它是由0.5μm厚的SiNx和0.2μm厚的Au构成的双材料微悬臂梁阵列构成.微梁单元倾斜角的变化利用在谱平面刀口滤波的光学方法测量.FPA是利用基于体硅的表面微加工工艺制作的,利用制作的FPA的60μm×60μm单元区域和12bit CCD,得到了室温物体的热像.讨论了60μm×60μm单元区域的性能,给出了NETD在100mK左右.和以前的工作相比,红外图像的温度分辨率和空间分辨率都得到了明显改善.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张青川	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	68	411	12.0	15.0
2	陈大鹏	中科院微电子研究所	13	126	6.0	11.0
3	焦斌斌	中科院微电子研究所	4	79	4.0	4.0
4	董凤良	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	2	16	2.0	2.0
5	缪正宇	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	1	13	1.0	1.0
6	熊志铭	中国科学技术大学中科院材料力学行为和设计重点实验室	1	13	1.0	1.0