单晶片离子注入机垂直扫描机构差分密封的设计

• 作者: 刘求益 胡代群
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 离子注入机 扫描机构 差分密封
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 工艺与应用
• 页码范围: 38-40,44
• 页数: 4页
• 分类号: TN105
• 字数: 2222字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2007.02.010

摘要

对垂直扫描机构差分式密封进行了设计和计算.差分式密封是非接触动密封,垂直扫描机构中,轴和轴套之间有微小的间隙,轴套上有两级差分抽气室,通过微小的间隙和两级差分抽气室,密封气体被两级真空泵抽出.这种密封能实现无摩擦、性能好的密封,能最大程度满足晶片处理过程中对靶室高真空度及金属颗粒的要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡代群	湘潭大学机械工程学院	2	0	0.0	0.0
2	刘求益	中国电子科技集团公司第四十八研究所	2	0	0.0	0.0