微通道板清洗技术

• 作者: 严诚 曾桂林 王益军
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 表面 清洗 污染物 微通道板
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 所属期刊栏目: 工艺技术与材料
• 页码范围: 413-416
• 页数: 4页
• 分类号: TN223
• 字数: 3525字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2007.05.012

摘要

基于微通道板材料和结构特性,分析了微通道板工艺制造过程中表面污染物的来源,并对其成分进行分析和归类.针对污染物的不同类型和形态,提出了相应的物理、化学清洗方法,主要包括:有机溶剂清洗、清洗液清洗、超声清洗等技术.通过理论分析及实验总结找出了适用于微通道板不同工序的清洗技术及工艺参数,为提高微通道板的表观质量提供了有效的清洗方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王益军	咸阳师范学院物理系	16	66	4.0	7.0
2	严诚		10	70	4.0	8.0
3	曾桂林		4	47	3.0	4.0