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离子注入机失效检测新方法
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摘要：
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离子注入表面改性技术的应用与发展
离子注入
表面改性
应用
Co离子注入ITO薄膜的磁性研究
ITO薄膜
离子注入
室温铁磁性
50型MEVVA源离子注入机
材料表面改性
MEVVA源
离子注入机
离子注入改善电接触微动磨损研究
电接触
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期刊影响力
集成电路应用
主办单位：
上海贝岭股份有限公司
出版周期：
月刊
ISSN：
1674-2583
CN：
31-1325/TN
开本：
16开
出版地：
上海宜山路810号
邮发代号：
创刊时间：
1984
语种：
chi
出版文献量（篇）
4823
总下载数（次）
15
总被引数（次）
4205
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