多层薄膜微结构热应力计算

• 作者: 周嘉 王军军 王锡明
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 微机电系统 残余应力 模拟
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜技术
• 页码范围: 20-23
• 页数: 4页
• 分类号: O484.1
• 字数: 2651字
• 语种: 中文

摘要

建立了以制作工艺为基础、适合多层薄膜微结构的热应力的计算公式.在Stoney方程相同的条件下,验证了所建模型的准确性.所建模型应用于多层微悬臂梁结构在残余应力作用下的形变计算,与实验测量结果的对比表明,误差在10%以内,说明所建模型具有非常好的实用性,可以为多层薄膜微结构设计和优化提供理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王锡明	合肥学院机械系	14	25	3.0	5.0