新型2×2聚合物波导垂直耦合器的研究

• 作者: 赵虎旦 邓文渊 鄂书林
• 来源期刊: 光通信技术
• 学科: 工学
• 关键词: 光束传播法 聚合物波导 垂直耦合器
• 年，卷（期）: 2007,（8）
• 所属期刊栏目: 光器件
• 页码范围: 45-47
• 页数: 3页
• 分类号: TN929.11
• 字数: 2089字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-5561.2007.08.013

摘要

对2×2聚合物波导垂直耦合器的理论设计和制作过程进行了研究.首先,利用光束传播法(BPM)设计并研究了垂直耦合器的关键参数(交叉角、垂直耦合层厚度)与耦合效率和消光比之间的关系.模拟结果表明,耦合效率最高为93%,消光比最高为29dB.其次,利用标准光刻工艺制作了波导尺寸为4×4 μm,垂直耦合层厚度为2μm,相对交叉角为1.0°的聚合物波导垂直耦合器.实验结果表明,采用聚合物制备波导垂直耦合器,具有工艺简单、灵活的优点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	鄂书林		2	3	1.0	1.0
2	邓文渊		2	3	1.0	1.0