一种结构新颖的地震动加速度计

• 作者: 任勇峰 王晓丽
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式加速度计 低g值 微机电系统 自检测功能
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 142-145
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.9
• 字数: 2205字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.03.008

摘要

对比典型的差动电容结构,设计了一种新的折叠梁电容式MEMS低g(g=9.8 m/s2,当地重力加速度)值加速度计,指标为量程0～±2 g,横向灵敏度＜3%.利用有限元分析软件对模型进行了静态应力分析和模态分析,并给出了接口电路和自检测功能原理.最后设计了一套可行的加工工艺.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	任勇峰	中北大学电子测试技术国家重点实验室	138	969	15.0	23.0
2	王晓丽	中北大学电子测试技术国家重点实验室	23	55	4.0	7.0