在位反应制备TiC涂层的动力学研究

• 作者: 刘朗 史景利 王坤杰 郭全贵
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: 化学气相沉积 碳化钛 涂层 动力学
• 年，卷（期）: 2007,（z1）
• 页码范围: 169-171
• 页数: 3页
• 分类号: TB3
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2007.z1.039

摘要

以TiCl4(99.9%)为钛源,H2(99.99%)为载气和反应气体,Ar(99.99%)为保护和稀释气,石墨为基体和碳源,在位反应制备了TiC涂层.通过实验参数与沉积产物的重量变化,分析了该反应的控制因素,并研究了反应的动力学特点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郭全贵	中国科学院山西煤炭化学研究所炭材料重点实验室	107	1419	22.0	31.0
2	刘朗	中国科学院山西煤炭化学研究所炭材料重点实验室	203	3170	29.0	43.0
3	史景利	中国科学院山西煤炭化学研究所炭材料重点实验室	65	711	14.0	22.0
4	王坤杰	中国科学院山西煤炭化学研究所炭材料重点实验室	2	10	2.0	2.0