金刚石膜电极电化清洗中pH值的影响

• 作者: 刘玉岭 张建新 边永超
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 金刚石膜电极 氢氧自由基 硼掺杂 pH值 清洗
• 年，卷（期）: 2007,（11）
• 所属期刊栏目: 显微、测量、微细加工技术与设备
• 页码范围: 1021-1025
• 页数: 5页
• 分类号: TN305.97
• 字数: 3165字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2007.11.011

摘要

利用硼掺杂金刚石膜电极在电解液中作阳极,通过控制各种相关条件使电解液中产生大量氢氧自由基和其他强氧化物质,将有机污染物氧化分解成小分子,甚至是CO2和H2O;同时配合专用清洗剂,极好地去除材料表面及狭缝中的固体颗粒和金属杂质,有效实现了被清洗表面的高度洁净化.通过实验分析了pH值的变化对电解液氧化性的影响,确定了最佳pH值为12.5.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘玉岭	河北工业大学微电子研究所	263	1540	17.0	22.0
2	张建新	河北工业大学微电子研究所	45	348	10.0	15.0
3	边永超	河北工业大学微电子研究所	2	11	2.0	2.0