准直碳纳米管的非均匀生长研究

• 作者: 党纯 王廷志
• 来源期刊: 微细加工技术
• 学科: 化学
• 关键词: 扩散 化学气相沉积 准直碳纳米管
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 微机械加工技术
• 页码范围: 43-46
• 页数: 4页
• 分类号: O631.71
• 字数: 2215字
• 语种: 中文

摘要

用CH4,NH3 和H2 为反应气体,利用等离子体增强热丝化学气相沉积在沉积有Ta缓冲层和Ni催化剂层的Si衬底上制备了准直碳纳米管,并用扫描电子显微镜和透射电子显微镜对它们进行了研究.结果发现,尽管碳纳米管在相同的生长条件下生长在同样的衬底上,其直径和长度仍不同, 表明它们是非均匀生长.应用有关热力学理论研究了碳纳米管生长的非均匀性,结果表明,碳纳米管的非均匀生长是由催化剂颗粒的大小不同所致.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王廷志	江南大学理学院	22	28	2.0	4.0
2	党纯	淮阴工学院计算科学系	12	10	1.0	2.0