定容式流导法气体微流量校准装置测量不确定度的评定

• 作者: 张学勇 张涤新 李得天 郭美如
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 流量计 定容 固定流导 校准装置 校准方法 不确定度评定
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 真空校准
• 页码范围: 55-58
• 页数: 4页
• 分类号: TB77
• 字数: 3621字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.02.014

摘要

介绍了定容式流导法气体微流量校准装置的组成及校准方法,并着重对测量不确定度进行了评定.通过评定在定容式流量计的校准范围(1×10-3～5×10-6)Pa·m3/s内,其合成标准不确定度为1.0%;在固定流导法流量计的校准范围(5×10-6～5×10-11) Pa·m3/s内,其合成标准不确定度为1.4%～1.8%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李得天		63	622	15.0	20.0
2	郭美如		28	208	8.0	12.0
3	张涤新		62	468	12.0	17.0