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摘要:
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半导体行业超纯水制造技术
半导体
超纯水
节能减排
采用高真空技术消除压铸件气孔
压铸件
铝合金
气孔
型腔
真空
压射
半导体制冷技术原理与应用
半导体
制冷技术
原理
应用
构成智能城市的半导体
物联网
半导体
智能电表
传感器
智能城市
内容分析
关键词云
关键词热度
相关文献总数  
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文献信息
篇名 Busch:服务于半导体行业的真空技术
来源期刊 集成电路应用 学科
关键词
年,卷(期) 2007,(4) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 21
页数 1页 分类号
字数 1055字 语种 中文
DOI
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引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
集成电路应用
月刊
1674-2583
31-1325/TN
16开
上海宜山路810号
1984
chi
出版文献量(篇)
4823
总下载数(次)
15
总被引数(次)
4205
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