HFCVD金刚石膜衬底温度的计算机控制

• 作者: 左敦稳 朱武 朱胤 褚向前 陈长琦
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: HFCVD 金刚石膜 衬底温度 计算机控制
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 自动控制
• 页码范围: 51-53
• 页数: 3页
• 分类号: TB43|TP273
• 字数: 2565字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-0322.2007.03.014

摘要

针对CVD金刚石膜生长手动控制的种种不便,在生长系统中引入了计算机控制,实现了用计算机控制生长金刚石膜的衬底温度.详细介绍了计算机控制系统的设计和实现方法.实际运行结果表明,该系统稳定性好、可靠性高,实现了金刚石膜稳定生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
2	陈长琦	合肥工业大学机械与汽车工程学院	119	1027	16.0	26.0
3	朱胤	南京航空航天大学机电学院	4	20	3.0	4.0
4	朱武	合肥工业大学机械与汽车工程学院	74	744	13.0	24.0
5	褚向前	合肥工业大学机械与汽车工程学院	17	59	4.0	7.0