基于FDTD的薄膜体声波谐振器的数值分析

• 作者: 吕苗 杨瑞霞 池志鹏 赵正平
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 压电材料 时域有限差分法 压电谐振器
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 器件制造与应用
• 页码范围: 121-124
• 页数: 4页
• 分类号: TN713
• 字数: 2103字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353X.2007.02.008

摘要

提出了基于时域有限差分方法对薄膜体声波谐振器进行数值分析的新方法.利用时域有限差分法理论对压电材料的控制方程和牛顿方程在空间和时间上进行了离散化,通过得到的差分方程直接得出了声场传播的时域数值解.使用该数值方法对薄膜体声波谐振器的电学特性阻抗进行了分析,并将结果与一维Mason模型的解析解进行了比较验证.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨瑞霞	河北工业大学信息工程学院	180	759	13.0	18.0
2	赵正平	河北工业大学信息工程学院	22	61	5.0	5.0
4	吕苗	河北半导体研究所微米纳米中心	13	61	3.0	7.0
7	池志鹏	河北工业大学信息工程学院	4	13	3.0	3.0