表面等离子共振Ag-SnO2复合膜光学传感器

• 作者: 傅军 孔令光 符运良 袁一方
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜 Ag-SnO2复合膜 表面等离子共振 共振角 介电常数
• 年，卷（期）: 2007,（3）
• 所属期刊栏目: 材料和元件
• 页码范围: 250-252,256
• 页数: 4页
• 分类号: TP212.14|O484
• 字数: 1903字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2007.03.007

摘要

为了研究CuO的不同掺杂浓度对表面等离子共振角的影响,提出一种新型的棱镜耦合法Ag-SnO2(掺杂CuO)复合膜表面等离子共振光学传感器结构.采用射频反应溅射法在清洗处理后的金红石棱镜上依次制备Ag膜(50nm),SnO2膜(50nm),CuO和SnO2膜(50nm)4层膜结构,CuO的厚度依其不同的掺杂体积分数的不同而不同,经过退火实现SnO2薄膜的掺杂得到复合膜.以He-Ne激光632.8nm为入射激励光源,通过采用表面等离子共振实验方法,CuO的掺杂体积分数分别为0,0.01和0.05时,得到共振角分别为59.61°,60.52°和61.3°的结果.结果表明,CuO掺杂的体积分数越大,表面等离子共振的共振角越大.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁一方	上海理工大学光学与电子信息工程学院	80	554	14.0	20.0
2	符运良	海南师范学院物理系	55	136	5.0	9.0
3	傅军	海南师范学院物理系	44	137	6.0	10.0
4	孔令光	海南师范学院物理系	2	1	1.0	1.0