含NiTi阻挡层的硅基(La0.5Sr0.5)CoO3/Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/(La0.5Sr0.5)CoO3铁电电容器异质结

• 作者: 刘保亭 李锋 程春生 赵庆勋 闫小兵 闫正 马良
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 铁电存储器 NiTi 阻挡层 Pb(ZrxTi1-x)O3
• 年，卷（期）: 2007,（1）
• 页码范围: 157-160
• 页数: 4页
• 分类号: O484
• 字数: 2855字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.01.035

摘要

应用磁控溅射法制备的非晶NiTi薄膜作阻挡层,在Si (100)衬底上构造了(La0.5Sr0.5)CoO3/ Pb(Zr0.4Ti0.6)O3/(La0.5Sr0.5)CoO3(LSCO/PZT/LSCO)铁电电容器异质结,研究了Pb(Zr0.4Ti0.6)O3铁电薄膜的结构和物理性能.实验发现LSCO/PZT/LSCO铁电电容器具有良好的电学性能,在417kV/cm的驱动场强下,PZT铁电电容器具有较低的矫顽场强(125kV/cm)和较高的剩余极化强度(19.0μC/cm2),良好电容-电压特性(C-V)和保持特性,铁电电容器经过1010次反转后,极化强度没有明显下降,表明了非晶NiTi薄膜可以用作高密度硅基铁电存储器的扩散阻挡层.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘保亭	河北大学物理科学与技术学院	84	302	10.0	13.0
2	赵庆勋	河北大学物理科学与技术学院	54	254	10.0	13.0
3	闫正	河北大学物理科学与技术学院	56	252	9.0	11.0
4	闫小兵	河北大学物理科学与技术学院	22	70	4.0	8.0
5	马良	河北大学物理科学与技术学院	6	9	2.0	2.0
6	李锋	河北大学物理科学与技术学院	10	15	2.0	3.0
7	程春生	河北大学物理科学与技术学院	4	10	1.0	3.0