高纯氨包装容器中存在痕量水积累问题的理论探讨

• 作者: 冯庆祥 吴江红 孙福楠
• 来源期刊: 低温与特气
• 学科: 工学
• 关键词: 高纯氨 水积累 包装容器
• 年，卷（期）: 2007,（2）
• 所属期刊栏目: 特气制备
• 页码范围: 18-22
• 页数: 5页
• 分类号: TQ067
• 字数: 5510字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1007-7804.2007.02.005

摘要

充分干燥的高纯氨包装容器,经反复充装若干次以后,会残留积累愈来愈多的水分.水是高纯氨质量控制的主要指标之一,对于5 N电子级高纯氨,水含量应控制在＜5 ppm,对于5.5 N以上纯度的超纯氨,水分更应控制在1 ppm以下.对高纯氨水积累原因进行探讨,并提出解决问题的方法.