脉冲式退火法对AZO薄膜性能的研究

• 作者: 卢景霄 吴芳 张丽伟 张松青 王子健 高哲
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: AZO薄膜 退火 透过率 电阻率
• 年，卷（期）: 2007,（5）
• 页码范围: 1182-1186
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-985X.2007.05.043

摘要

用磁控溅射法在玻璃衬底上制备了掺铝氧化锌(AZO)薄膜,然后用脉冲式快速光热处火(PRTP)法对样品进行了600～800℃的退火处理.采用X射线衍射仪(XRD)、分光光度计、四探针等测试手段对AZO薄膜的结晶性能、透光率和导电性能进行了表征.结果表明:(1)薄膜退火后透光率基本维持在退火前(82～92%)的水平,而电阻率则由10-4Ω·cm 上升了1到6个数量级,已丧失了"导电膜"意义;(2)样品具有好的结构性能有利于提高样品的导电性能.对此现象进行了理论分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张松青		46	85	4.0	7.0
2	张丽伟	郑州大学材料物理教育部重点实验室	17	90	7.0	9.0
4	卢景霄	郑州大学材料物理教育部重点实验室	100	570	12.0	17.0
5	高哲	郑州大学材料物理教育部重点实验室	6	15	3.0	3.0
6	王子健	郑州大学材料物理教育部重点实验室	5	22	2.0	4.0
7	吴芳	郑州大学材料物理教育部重点实验室	8	48	3.0	6.0