无定型CNx超硬薄膜的生长过程研究

• 作者: 张旭海 李凡 李红 王继刚 蒋建清
• 来源期刊: 材料工程
• 关键词: CNx薄膜 磁控溅射 生长 突起
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 表面工程
• 页码范围: 39-42,46
• 页数: 5页
• 分类号: O484
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4381.2007.04.010

摘要

利用直流磁控溅射方法,在高纯石墨衬底上沉积制备碳氮薄膜.借助于SEM对溅射沉积的碳氮薄膜微观形貌进行观察,并对碳氮薄膜的生长过程进行研究.结果表明:沉积所得的碳氮薄膜为无定型结构,且由大量的团簇所组成.在碳氮薄膜的形成过程中,先是在某些局部位置优先形成突起,继而延伸发展成棒状或纤维状结构,并桥联于相邻的CNx团簇间,伴随着这些桥联结构在径向、轴向的扩展,逐渐演变成新的团簇,并毗连成膜;同时,又不断衍生出新的突起,如此反复,实现了碳氮薄膜的持续增厚或生长.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李凡	东南大学材料科学与工程学院	38	249	10.0	13.0
2	蒋建清	东南大学材料科学与工程学院	147	1301	17.0	25.0
3	王继刚	东南大学材料科学与工程学院	26	251	10.0	15.0
4	张旭海	东南大学材料科学与工程学院	25	154	8.0	11.0
5	李红	东南大学材料科学与工程学院	6	10	2.0	2.0