微米纳米科学技术发展及产业化启示

• 作者: 丁衡高 朱荣
• 来源期刊: 纳米技术与精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 纳米科技 发展现状与趋势
• 年，卷（期）: 2007,（4）
• 所属期刊栏目: 纳米技术
• 页码范围: 235-241
• 页数: 7页
• 分类号: TN16
• 字数: 6992字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-6030.2007.04.001

摘要

近年来,微米纳米科学技术发展迅速,在产业化方面已经取得了不少进展.本文从发展现状和趋势上,结合我国具体情况,阐述了以下观点:开展创新工艺和设计方法研究,提高微机电(MEMS)应用和产业化能力;开展基础研究,提高MEMS器件和系统的水平;加强微米,纳米科学技术成果的结合.最后对今后研究工作提出了建议.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	丁衡高	清华大学精密仪器与机械学系	6	55	4.0	6.0
2	朱荣	清华大学精密仪器与机械学系	26	123	7.0	10.0